YS/T 28-2015 ウェハー・パッケージング

規格番号: YS/T 28-2015(YS/T28-2015)
中国語:硅片包装
日本語:ウェハー・パッケージング

発効日:2015-10-01
標準の適用範囲:この規格は、シリコン単結晶研磨ウェハー、エピタキシャルウェハー、SOI及びその他のシリコンウェハーのクリーン包装、シリコン単結晶研磨ウェハー(シリコン研磨ウェハーと呼ばれる)包装及び太陽電池ウェハー包装に適用されるため、輸送、保管の過程で再汚染や破損を避けることができます。

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