規格番号: YS/T 1060-2015(YS/T1060-2015)
中国語:硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
日本語:シリコンエピタキシャルトリクロロヒドロシラン中の他のクロロシランの定量 ガスクロマトグラフィー
発効日:2015-10-01
標準の適用範囲:この規格は、シリコンエピタキシー用トリクロロハイドロシリコン中のその他のクロロシラン（ジクロロジハイドロシリコン及び四塩化ケイ素を含む）の含有量の測定に適用する。 定量下限は 0.002%である。
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