規格番号: YS/T 1059-2015(YS/T1059-2015)
中国語:硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
日本語:ガスクロマトグラフィーによるシリコンエピタキシトリクロロシリコン中の全炭素の定量
発効日:2015-10-01
標準の適用範囲:本標準は、シリコンエピタキシャルトリクロロハイドロシリコン中の全炭素含有量の測定に適用し、測定範囲は0.00005%～0.005%である。
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