規格番号: YS/T 1053-2015(YS/T1053-2015)
中国語:电子薄膜用高纯钴靶材
日本語:電子フィルム用高純度コバルトターゲット
発効日:2015-10-01
標準の適用範囲:この規格は、電子薄膜製造用のあらゆる種類の高純度コバルトターゲットに適用される。
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