規格番号: YS/T 1025-2015(YS/T1025-2015)
中国語:电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
日本語:電子フィルム用高純度タングステンおよびタングステン合金スパッタリングターゲット
発効日:2015-10-01
標準の適用範囲:この規格は、電子薄膜用高純度タングステン及びタングステン合金スパッタリングターゲット（以下、高純度タングステン及びタングステン合金ターゲットという）に適用する。
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