規格番号: SJ/T 11491-2015(SJ/T11491-2015)
中国語:短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
日本語:短基線赤外吸収分光法によるシリコン中の格子間酸素量の測定
発効日:2015-10-01
標準の適用範囲:
PDF ダウンロード可能: N
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