規格番号: JB/T 4081-2011(JB/T4081-2011)
中国語:真空技术 溅射离子泵
日本語:真空技術 スパッタリングイオンポンプ
発効日:2012-04-01
標準の適用範囲:
PDF ダウンロード可能: N
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