規格番号: GB/T 42902-2023 (GB/T42902-2023)
中国語:碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
日本語:炭化ケイ素エピタキシャルウェハーの表面欠陥検査法-レーザー散乱法
発効日:2024-03-01
規制機関:中国国家標準化管理局
発行規制機関:国家市場監督管理総局,中国国家標準化管理局
国際規格に準拠:N
PDF ダウンロード可能:Y
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