規格番号: GB/T 36053-2018
中国語:X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
日本語:X線反射率法による薄膜の厚さ、密度、界面幅の評価-装置要件、アライメントと位置決め、データ収集、データ解析と報告
発効日:2019-02-01
規制機関:国家标准化管理委员会
発行規制機関:中華人民共和国品質監督検査検疫総局,中国標準化管理局（SAC）
国際規格に準拠:Y
PDF ダウンロード可能:N
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