規格番号: GB/T 30701-2014
中国語:表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
日本語:表面化学分析-シリコンウエハー作業標準物質の表面から元素を収集し、全反射蛍光X線（TXRF）分光法で定量するための化学的方法
発効日:2014-12-01
規制機関:国家标准化管理委员会
発行規制機関:中華人民共和国品質監督検査検疫総局,中国標準化管理局（SAC）
国際規格に準拠:Y
PDF ダウンロード可能:N
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