規格番号: GB/T 29507-2013
中国語:硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
日本語:自動非接触スキャニングによるシリコンウェーハの平坦度、厚さ、総厚さばらつきの測定試験方法
発効日:2014-02-01
規制機関:国家标准化管理委员会
発行規制機関:中華人民共和国品質監督検査検疫総局,中国標準化管理局（SAC）
国際規格に準拠:N
PDF ダウンロード可能:Y
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